【簡介：】MEMS，即微機(jī)電系統(tǒng)，是一種結(jié)合機(jī)械和電子的半導(dǎo)體技術(shù)，最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，以及應(yīng)用終端“輕

MEMS，即微機(jī)電系統(tǒng)，是一種結(jié)合機(jī)械和電子的半導(dǎo)體技術(shù)，最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，以及應(yīng)用終端“輕、薄、短、小”的特點(diǎn)，對小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢迅猛，消費(fèi)電子、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影。

　　Apple的iPhone系列無疑是加速M(fèi)EMS在手機(jī)應(yīng)用的推動(dòng)者，在iPhone之后越來越多基于MEMS的手機(jī)應(yīng)用開始被推廣。MEMS在手持裝置上的組件包含陀螺儀、新一代三軸加速度計(jì)、壓力傳感器以及模塊設(shè)計(jì)等，應(yīng)用上除了可觸控移動(dòng)瀏覽頁面、傾斜手機(jī)以卷動(dòng)網(wǎng)頁、改變手機(jī)方向角度顯示圖片外，也可作為計(jì)步器、導(dǎo)覽接口、LBS定位信息服務(wù)、硬盤地心引力防撞保護(hù)、個(gè)人慣性導(dǎo)航、照相防手震強(qiáng)化影像穩(wěn)定度、智能互動(dòng)游戲等。內(nèi)建MEMS功能的手機(jī)也可作為檢測絕對氣壓或高度的感測裝置使用；手機(jī)MEMS傳感器亦能檢測用戶拿起手機(jī)是否靠近耳邊皮膚、藉此自動(dòng)關(guān)閉手機(jī)顯示屏幕來節(jié)省電源；也可將手機(jī)面朝下放在桌上便可關(guān)閉鈴聲等。

　　2008年在經(jīng)濟(jì)危機(jī)的影響下，全球的消費(fèi)電子產(chǎn)品及汽車銷量均有下降，并且這種下降的趨勢在2009年繼續(xù)蔓延。美國汽車兩大巨頭面臨破產(chǎn)的風(fēng)險(xiǎn)，這都對MEMS的市場應(yīng)用產(chǎn)生了強(qiáng)烈的沖擊。盡管如此，MEMS的未來前景仍然充滿希望，因?yàn)橄M(fèi)電子的出貨量有所下降但單一產(chǎn)品中的MEMS應(yīng)用比例在增加，而且歐美國家在汽車ESC、TPMS等領(lǐng)域出臺了強(qiáng)制性配置法規(guī)也確保了MEMS產(chǎn)品的穩(wěn)定供應(yīng)。

　　MEMS產(chǎn)品多為定制化生產(chǎn)，對晶圓代工廠的要求也比較高，并不像標(biāo)準(zhǔn)CMOS制程用1個(gè)制程就可替不同客戶代工，因此大陸的晶圓代工廠幾乎沒有涉足。不過2008年10月底，中芯國際宣布進(jìn)入MEMS代工行列。2009年初，方正微電子高層訪問團(tuán)拜訪臺灣多個(gè)MEMS設(shè)計(jì)公司。另外有消息稱，上海和無錫有建設(shè)MEMS產(chǎn)業(yè)園的計(jì)劃，中國的MEMS業(yè)者也在積極尋找機(jī)會(huì)分享MEMS產(chǎn)業(yè)所帶來的機(jī)遇。