【簡介:】當(dāng)然是光刻機(jī)的難度更大了!主要是航空發(fā)動(dòng)機(jī)的難度在于“材料和設(shè)計(jì)”,被稱為“工業(yè)桂冠上的明珠”。而光刻機(jī)是集世界之大成技術(shù),研發(fā)出來的。其難點(diǎn)主要在“精密加工”,被稱
當(dāng)然是光刻機(jī)的難度更大了!主要是航空發(fā)動(dòng)機(jī)的難度在于“材料和設(shè)計(jì)”,被稱為“工業(yè)桂冠上的明珠”。而光刻機(jī)是集世界之大成技術(shù),研發(fā)出來的。其難點(diǎn)主要在“精密加工”,被稱為“工業(yè)桂冠上的明珠的明珠”也不為過。
先來看光刻機(jī)的研發(fā)難點(diǎn)。光刻機(jī)主要涉及了:精密加工,精密裝配,精確移動(dòng)等等多項(xiàng)高難度技術(shù)。就比如說用于反射光源的各種高精度反光鏡,加工這些鏡頭得有高精度的磨床,也只有兩三個(gè)國家有這種磨床。除了高精度磨床之外,鏡頭的拋光是由人工來完成的。而阿斯麥公司制造的光刻機(jī)用的是德國蔡司公司的鏡頭組,應(yīng)該是只有蔡司公司的鏡頭才符合制造極紫外EUV光刻機(jī)的需求了。此外,光刻機(jī)里有兩個(gè)必須保持同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái),誤差。要在2納米以下,一個(gè)載著底片,一個(gè)載著膠片。而這兩個(gè)工作臺(tái)由靜止到運(yùn)動(dòng)的加速度,根導(dǎo)彈發(fā)射時(shí)的加速度相近。要保持兩個(gè)工件臺(tái)的同步運(yùn)動(dòng),就必須要有極為高端的機(jī)械加工能力。
再來看航空發(fā)動(dòng)機(jī)的制造難點(diǎn)。航空發(fā)動(dòng)機(jī)對(duì)材料有極高的需求,另外就是設(shè)計(jì)了。要知道航空發(fā)動(dòng)機(jī)里面的高低壓渦輪工作葉片的工作環(huán)境極為惡劣。葉片要在上千度的高溫,數(shù)百個(gè)大氣壓,強(qiáng)大的力心力作用下持旋轉(zhuǎn)的同時(shí),還不能有任何損壞,形變,裂紋等等。除了這點(diǎn)之外,航空發(fā)動(dòng)機(jī)還要長時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn),也就是說,高低壓渦輪葉片還得具有較高的疲勞壽命,這一系列的特點(diǎn)性能,就使得航空發(fā)動(dòng)機(jī)的工作葉片的制造難度極大。
現(xiàn)在的航空發(fā)動(dòng)機(jī)工作葉片一般都是用單晶耐高溫合金,金屬間化物等,未來還可能使用復(fù)合材料,陶瓷材料等。也就是說,現(xiàn)在可以獨(dú)立制造出單晶耐高溫合金葉片的國家也就是五六個(gè)。航空發(fā)動(dòng)機(jī)考驗(yàn)的是一個(gè)國家的基礎(chǔ)材料科學(xué),只有材料上去了,設(shè)計(jì)不行,靠堆材料也可以堆出先進(jìn)的航空發(fā)動(dòng)機(jī)。
由此可知,航空發(fā)動(dòng)機(jī)對(duì)材料的要求極高,二光刻機(jī)對(duì)精加工的要求極高。相對(duì)而言,材料比較好突破,而可以獨(dú)立制造航空發(fā)動(dòng)機(jī)的國家有美,中,日,俄,英,法。但是可以獨(dú)立制造光刻機(jī)的國家有荷,中,日這三國了。