【簡介:】真空技術(shù)是電子管制、半導體提純等電子領(lǐng)域必不可少的一項技術(shù)。它被廣泛地應用于各種精密儀器的生產(chǎn)制造上,通常情況下,壓強在10-3-10-8乇(真空單位,乇=1毫米汞柱的壓強)的稱為
真空技術(shù)是電子管制、半導體提純等電子領(lǐng)域必不可少的一項技術(shù)。它被廣泛地應用于各種精密儀器的生產(chǎn)制造上,通常情況下,壓強在10-3-10-8乇(真空單位,乇=1毫米汞柱的壓強)的稱為高真空,小于10-8乇的稱為超高真空。1976年10月,奧森研究中心的湯姆遜利用極低溫度使氣體冷凝,然后將冷凝的氣體從真空泵系統(tǒng)里除去的方法,獲得了真空為10-14的數(shù)量級,創(chuàng)造了最高真空的世界紀錄。